Halbleiter

Geschichte

Der Halbleitersektor entwickelte sich aus den Fortschritten der Festkörperphysik und der Transistorfertigung Mitte des 20. Jahrhunderts und weitete sich anschließend mit integrierten Schaltungen sowie dem Schritt hin zu einer hochvolumigen, stark kontrollierten Fertigung aus. Im Laufe der Zeit verlagerte sich die Produktion von einer relativ einfachen Geräte-Montage hin zu komplexer Waferverarbeitung mit Schritten wie Lithografie, Abscheidung, Ätzen, Inspektion und Verpackung. Da die Gerätegrößen schrumpften und die Schaltungsdichte zunahm, wurde die Halbleiterfertigung zu einem der ausrüstungsintensivsten Industriesektoren – mit hoher Nachfrage nach spezialisierten Werkzeugen sowohl für Front-End- als auch für Back-End-Prozesse.

Anwendungen

Halbleiteranlagen werden eingesetzt, um Chips für Unterhaltungselektronik, Automobilsysteme, industrielle Steuerungen, Telekommunikation, Medizingeräte und Computerhardware herzustellen. Zu den zentralen Anwendungen zählen die Wafervorbereitung, Reinigung, Abscheidung, Ätzen, Abbildung, Bohren, Routing, Die-Bonding, Flip-Chip-Bonding sowie Montage oder Verpackung. Der Sektor unterstützt außerdem die Fertigung von Leiterplatten und zugehörige Prozesse, bei denen Präzision, Wiederholbarkeit und Kontaminationskontrolle entscheidend sind. Auf Märkten für gebrauchte Maschinen werden diese Systeme typischerweise für Produktionsausbau, Linienersatz, Prozess-Upgrades und Kapazitätsunterstützung in Fabs und Verpackungsanlagen gesucht.